XD激光干涉儀的相關知識

 　　激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數(shù)控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。
　　XD激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上，XD激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經過干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產生干涉條紋，經光學相位探測器識別后進行電子計數(shù)，記錄準確的長度位置，束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內的橫向光電二極管測得，第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。
　　為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性，測量儀配有自動氣壓，環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響。測量儀還配有站們設計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到低。